 前面板 [1] 照明強度旋鈕 [2] 物鏡倍率切換 [3] 孔徑光闌調節(jié) |
在對比度的決定上起重要作用的孔徑光闌（AS）的開閉調節(jié)，與物鏡的切換和觀察模式連動，用一個按鈕就可以操作。此外，用一個手指就可以調光的旋鈕也配置在前面板上，從而提高了檢查速度。物鏡和孔徑光闌（AS）的按鈕分別斜向配置，手不離開對焦手柄，只要輕動大拇指就可以操作。這個按鈕的傾斜式設計提高了手指尖的感知度，能夠防止錯誤操作。 |
 傾斜鏡筒示意圖 |
為了適應視點而調整座椅的高度，或是以不合理的姿勢進行檢查的話會浪費時間，降低工作速度。但是，配備傾斜角度為0°～42°（可變高度為150 mm，SEMI S8對應）的傾斜鏡筒，可采取與檢查者體格無關的舒適觀察姿勢，甚至可以站立檢查。此外，這一款鏡筒拉長了從觀察中心軸到觀察者視點的距離，可以在較大的平臺上輕松操作。 |
 內置離合器的載物臺手柄 |
對應300 mm晶圓／17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺有較大的透射照明范圍（Y方向284 mm）。另外，內置離合器的載物臺手柄，可切換粗調和微調。在顯微鏡觀察的同時能自由地移動載物臺，快速完成檢查。 |
 明視場觀察 |
 暗視場觀察 |
 微分干涉觀察 |
 熒光觀察 |
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電動物鏡轉換器的切換速度比原來提高了20%。物鏡的切換，可以操作按鈕瞬時間完成，提高了檢查速度。三種潔凈類 型的物鏡轉換器可以按需選擇。另外，UIS2物鏡大幅度地提高了高倍率的偏心精度。即便是有小尺寸攝像元件的CCD攝像機，在切換倍率時也不會由視場中心附近偏離。 |
 AS自動調節(jié)示意圖 |
每次變換物鏡時都需要調節(jié)孔徑光闌（AS）的話，會影響檢查速度。MX61L對每個物鏡都可以設置觀察方法和AS（14級），只要切換物鏡就能以最合適的對比度進行觀察。在變換物鏡和切換觀察模式時不再需要花時間調節(jié)AS，提高速度的同時減輕了操作員的疲勞。 |
 自動晶圓搬送機AL110（200 mm 規(guī)格）組合 |
MX61L能與自動晶圓搬送機組合，組合后的尺寸也被設計得很小。能夠無接觸、安全和快速的執(zhí)行從內面的宏觀檢查到微觀檢查等多種任務。此外，晶圓盒還可以從前面輕松設置。如果使用選件的遙控器，那么不良晶圓的登錄、開始和保存都可以在手中快速完成。 |
 近紅外線觀察單元 |
 粘合襯墊 |
 熒光鏡單元 |
 熒光觀察 |
透射照明單元
 透射照明單元 |
對應光掩模和FPD檢查的透射照明單元。偏振光片的搭載，實現(xiàn)了透射簡易偏振光觀察。有通用的A型號和高NA（數(shù)值孔徑）的B型號兩種型號。 |
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